氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

2013-03-14 伯東公司 www.hakuto-vacuum.com

  伯東公司(si)德國(guo)Pfeiffer HLT 560 氦質譜檢漏儀用于(yu)電磁閥閥芯檢漏應用案例—深(shen)圳某事業有限(xian)公司(si)

一、 電磁閥閥芯檢漏原因

  該客(ke)戶是為日(ri)本某半導體設備廠生產(chan)精密零(ling)件激光(guang)焊接(電(dian)磁(ci)閥(fa)閥(fa)芯(xin)),一(yi)共有5個型號,月產(chan)量2000-3000個閥(fa). 精密零(ling)件激光(guang)焊接(電(dian)磁(ci)閥(fa)閥(fa)芯(xin))產(chan)品如下圖:

 

  由于半導體(ti)工業上(shang)用的(de)氣(qi)體(ti)如硅烷(wan)( SiH4), 氨(an)氣(qi)(NH3)等(deng)等(deng)都(dou)是(shi)有(you)毒或有(you)腐蝕性的(de)氣(qi)體(ti),所(suo)(suo)以對(dui)所(suo)(suo)用的(de)閥及(ji)相關(guan)部件, 漏率要求(qiu)(qiu)非常嚴格, 要求(qiu)(qiu)成(cheng)品最終(zhong)漏率低于5-10 mbar l / s, 而這(zhe)樣的(de)漏率要求(qiu)(qiu)也(ye)只有(you)氦質譜檢(jian)漏儀能達到(dao)了.

二、 電磁閥閥芯檢漏方法

  大(da)概的(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)測過程(cheng)為:來料(liao)用(yong)放大(da)鏡目視(shi)檢(jian)(jian)(jian)測,激(ji)光焊接完成后(hou)再(zai)目視(shi)檢(jian)(jian)(jian)測,最后(hou)用(yong)氦氣(qi)質(zhi)譜檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀做最后(hou)檢(jian)(jian)(jian)測,漏(lou)(lou)率值以(yi)氦氣(qi)檢(jian)(jian)(jian)漏(lou)(lou)儀測出的(de)(de)數據為準.

  客戶以(yi)前用的(de)是日本(ben)某品牌的(de)檢(jian)漏(lou)儀,現在(zai)新(xin)上(shang)的(de)項目(mu)都改為德國Pfeiffer的(de)HLT 560這一款(kuan)檢(jian)漏(lou)儀,這是因為,只有(you)(you)德國Pfeiffer的(de)HLT 560能(neng)滿足這么高的(de)漏(lou)率值測試,且數據(ju)可(ke)靠(kao).另(ling)外還具(ju)有(you)(you)操作(zuo)簡單,生(sheng)產效率高的(de)優點(dian).

三、電磁閥閥芯檢漏操作說明

氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

  1),先將閥接(jie)入工(gong)裝(zhuang),形成一個密閉的(de)腔體.再(zai)將檢漏儀連(lian)接(jie)到工(gong)裝(zhuang)上.

  2),啟動(dong)氦質譜檢漏(lou)(lou)儀(yi), 檢漏(lou)(lou)儀(yi)開始(shi)抽取密閉(bi)腔(qiang)體中的氣(qi)體,同時顯示一個漏(lou)(lou)率值(zhi).

  3),在激光焊縫(feng)和懷疑有(you)(you)漏的(de)地(di)方噴氦氣,同時(shi)觀(guan)察檢漏儀上顯示的(de)漏率值有(you)(you)無變化.

  4),如(ru)果(guo)漏率值上升(sheng),說明噴氦氣(qi)的地方有漏,該被檢對象質量不合(he)格.如(ru)果(guo)漏率值能達到(dao)要求,該被檢對象合(he)格,檢漏檢測(ce)完(wan)成.

氦質譜檢漏儀用于直通閥檢漏

一、閥門檢漏需求

  閥門的密封性(xing)能是(shi)考核閥門質量優(you)劣的主要(yao)指標之一(yi)(yi)(yi). 所以在設計生產(chan)閥門時(shi)就要(yao)提高其密封性(xing)能, 并且在出廠前最(zui)后一(yi)(yi)(yi)道工序應對閥門做密封性(xing)檢測. 目前國內許多閥門廠家使用(yong)水檢法(fa)(fa)(fa)(fa)和氣壓法(fa)(fa)(fa)(fa)進行氣密性(xing)檢測, 但是(shi)使用(yong)此方(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa)只能檢到漏(lou)孔比較(jiao)大的情況, 一(yi)(yi)(yi)般最(zui)小可檢漏(lou)率(lv)1X10E-3 mbar l/s. 但隨著客戶對產(chan)品質量要(yao)求的不斷提高, 水檢法(fa)(fa)(fa)(fa)和氣壓法(fa)(fa)(fa)(fa)已經無法(fa)(fa)(fa)(fa)滿(man)足要(yao)求. 為了保證產(chan)品競爭, 許多廠家引(yin)進了氦氣檢漏(lou)儀, 對于目前常(chang)用(yong)的檢漏(lou)方(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa), 氦氣檢漏(lou)法(fa)(fa)(fa)(fa)被(bei)公(gong)認為最(zui)先(xian)進可靠的方(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa)之一(yi)(yi)(yi).

  而德(de)國Pfeiffer 氦質(zhi)譜檢漏儀具(ju)有體(ti)積小、重(zhong)量輕、內(nei)部模組(zu)化設計(ji)、檢測(ce)維修方便、使用(yong)簡單(dan)、一鍵式(shi)操作等優(you)點受到廣大客戶的青睞.

  上海(hai)閥特流(liu)體主要生產(chan)銷售各(ge)種自(zi)動(dong)控制閥門(men)(men), 部門(men)(men)產(chan)品出口到國外. 如下圖所示(shi)為(wei)該司生產(chan)的直通閥, 用于有毒氣(qi)體設備, 為(wei)了作業人員安全及避免環境污染, 客戶要求出廠前對閥門(men)(men)做氣(qi)密性檢測.

二、閥門檢漏方法

  Pfeiffer HLT 系列氦質(zhi)譜(pu)檢(jian)漏(lou)儀同(tong)時擁有兩種檢(jian)漏(lou)模式(shi)(shi), 真空(kong)模式(shi)(shi) (vacuum mode)及正壓(ya)模式(shi)(shi) (sniffer mode), 可根據(ju)客戶(hu)不(bu)同(tong)需求, 選擇不(bu)同(tong)的檢(jian)漏(lou)方法. 閥門多采用檢(jian)漏(lou)儀的負壓(ya)模式(shi)(shi)既真空(kong)模式(shi)(shi)檢(jian)漏(lou), 其最小可檢(jian)查漏(lou)率(lv)為5X10-12 mbar l/s.

三、閥門檢漏操作

  1. 如下圖所示, 工作人員用波紋管(guan)連(lian)接待檢測的直通閥與德(de)國(guo)Pfeiffer HLT 560氦質譜(pu)檢漏儀.

氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

  2. 啟動DUO 旋片泵, 直通(tong)閥抽(chou)真(zhen)空, 同(tong)時啟動氦質(zhi)譜檢漏儀并顯(xian)示一個漏率(lv)值. 當旋片泵抽(chou)真(zhen)空到達一定真(zhen)空度(最高背壓為 25 mbar業界最高)時, 可以進行(xing)檢漏操(cao)作.

  3. 如下圖工作人(ren)員向直通閥密封(feng)處和懷(huai)疑有(you)漏的(de)地(di)方噴氦氣, 同(tong)時觀察檢漏儀上顯(xian)示的(de)漏率值(zhi)有(you)無變化.

氦質譜檢漏儀用于電磁閥檢漏、直通閥檢漏

  4. 如果(guo)漏(lou)率(lv)值(zhi)上升, 說明(ming)噴氦氣的地方有(you)漏(lou), 該(gai)被檢對象(xiang)質量不合格(ge). 如果(guo)漏(lou)率(lv)值(zhi)能達到要求, 該(gai)被檢對象(xiang)合格(ge), 檢漏(lou)檢測完(wan)成.

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