常規檢漏和逆擴散檢漏原理圖

2020-04-18 真空技術網 真空技術網整理

  氦質(zhi)譜檢(jian)漏儀的(de)檢(jian)漏方(fang)式(shi)通常有兩種,一種為(wei)(wei)常規檢(jian)漏,另一種為(wei)(wei)逆(ni)擴(kuo)散(san)檢(jian)漏。逆(ni)擴(kuo)散(san)原理如圖所示。逆(ni)擴(kuo)散(san)檢(jian)漏是把被(bei)檢(jian)件(jian)接在分子泵(beng)出氣(qi)(qi)(qi)口(kou)一端,漏入的(de)氦氣(qi)(qi)(qi)由(you)分子泵(beng)出氣(qi)(qi)(qi)口(kou)逆(ni)著(zhu)泵(beng)的(de)排氣(qi)(qi)(qi)方(fang)向進(jin)入安裝在泵(beng)的(de)進(jin)氣(qi)(qi)(qi)口(kou)端的(de)質(zhi)譜管內而被(bei)檢(jian)測。

  這一檢漏方式是(shi)基于分(fen)子(zi)泵對不同質量的氣體(ti)(ti)具(ju)有不同壓(ya)縮(suo)比(氣體(ti)(ti)在(zai)分(fen)子(zi)泵出氣口壓(ya)強(qiang)與進(jin)氣口壓(ya)強(qiang)之(zhi)比)即利用不同氣體(ti)(ti)的逆擴散(san)程度不同程度而(er)設計(ji)的。

逆擴散原理圖

逆擴散原理圖

  逆擴散方式檢漏(lou)允許被檢件內壓強(qiang)較高,SFJ-231/241型氦(hai)質譜(pu)檢漏(lou)儀可達(da)1000Pa(一般常規檢漏(lou)儀為0.05Pa以(yi)下(xia)),適(shi)合檢大型容(rong)器或有大漏(lou)的(de)器件,也適(shi)合吸槍檢漏(lou)。逆擴散方式還(huan)具有質譜(pu)管不易(yi)受污染,燈絲壽命長等優點。