鈦升華泵的極限壓強與抽速

2020-05-06 真空技術網 真空技術網整理

  1、鈦升華泵的極限壓強:可達10-10Pa。

   2、鈦升華泵的抽速:鈦升華泵的抽速較大,新鮮鈦膜在液氮溫度下,對氮的抽速可達10.1L/cm2·s,對氫的抽速可達19.9L/cm2·s。鈦升華泵的抽速受很多因素影響,升華速率是決定其抽速的主要因素之一。若吸氣面足夠大,在一定壓強范圍內,升華速率高,則泵的抽速大。當然膜沉積速率與排氣量要相稱,否則第一層鈦膜吸氣尚未飽和,第二層又覆蓋上去,即使升華率高,抽速也增大不了多少。

   為了維持恒定的抽速,減少鈦的消耗,需要對升華速率進行調節。當真空度高時要把升華速率降低。吸氣面也是決定泵性能的重要因素之一。吸氣面越大,泵的抽速越大。但泵口流導限制了泵的抽速。對室溫下空氣,泵口最大流導是11.7L/cm2·s。鈦升華泵的抽速

  可用下式估算:

鈦升華泵抽速計算公式

  鈦升華泵抽速計算公式

   式中σ是吸氣面的最大粘著系數;A為吸氣面面積(cm2);K為瀉流系數(L/cm2·s),T為氣體絕對溫度,M為氣體摩爾質量;B為1個氣體分子需要和幾個鈦原子結合,B = 1~2;G是1Pa·L氣體的分子數(G = 7.2×1019·1/T);P為壓強(Pa);R是1杪種內供給吸氣面的鈦原子數(升華速率為1g/h時,為3.5×1018個/s)。

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