濺射離子泵的抽氣特性

2020-05-06 真空技術網 真空技術網整理

  1、濺射離子泵的極限壓強:可達10-10Pa。

  2、濺射離子泵的抽速:在高真空時,二極型濺射離子泵每一陽極格子的抽速經驗公式為

二極型濺射離子泵的抽速經驗公式

  二極型濺射離子泵的抽速經驗公式

   式中h 為陽極筒高度(cm);Ua為陽極電壓(V);H 為磁場強度(A/m);d 為陽極簡直徑(cm);e = 2.71828。

  多個陽極筒組成一臺濺射離子泵以后,其總抽速不考慮泵口流導影響)為:

  So = m·nfs (L/s) (6)

   式中m 優為泵高方向并聯單元組數;n 為泵深方向每一縱行單元數;f 為抽速有效系數,與單元排列有關;s為每一單元的抽速。

  3、濺射離子泵在抽除惰性氣體時,二極泵會出現氬不穩定性。

  4、濺射離子泵對有機蒸氣污染敏感,連續抽30min油蒸氣就會使泵起動困難。

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